特許
J-GLOBAL ID：200903094754133554
原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333055
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180222
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】試料の大きさに制限がなく、スキャナーへの負荷も小さく、変位検出系の調整も容易な原子間力顕微鏡を提供する。【構成】チューブスキャナー12と外側微動素子16の下端は共に連結部材14に取り付けられている。外側微動素子16と内側微動素子20の上端は共に連結部材18に取り付けられている。内側微動素子20の下端にはセンサー取付台22が取り付けられている。円筒部材24には、ステージホルダー26がネジにより連結されている。ステージホルダー26と円筒部材24の内側には、カンチレバーステージ28とOリング30とが収容されている。カンチレバーステージ28の下端にはカンチレバーホルダー32がネジにより取り付けられており、これにカンチレバー34が取り付けられる。光ファイバー36は、カンチレバーホルダー32の貫通穴に挿入され、センサー取付台22に固定されている。
請求項（抜粋）：
探針を試料表面に沿って走査し、探針の受ける原子間力を利用して表面の形状を調べる原子間力顕微鏡において、自由端が少なくとも試料表面に沿って移動可能なチューブスキャナーと、チューブスキャナーの内側に配置され、一端がチューブスキャナーの自由端に連結された、伸縮可能な円筒形状の外側微動素子と、外側微動素子の内側に配置され、一端が外側微動素子の他端に連結された、伸縮可能な円筒形状の内側微動素子と、チューブスキャナーの自由端に支持された、自由端に探針を備えた柔軟なカンチレバーと、内側微動素子の他端に取り付けられ、カンチレバーの自由端に近づけて配置され、カンチレバーの自由端までの距離が調整可能に支持されたセンサー部を持つ、カンチレバーの自由端の変位を検出する検出系とを有していることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01B 21/30
, H01J 37/28
