特許

J-GLOBAL ID：200903094758167259

狭帯域レ-ザ装置

発明者： 榎波 龍雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-261888
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102559
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】この発明は、ガスレ-ザ媒質の圧力変動でスペクトル幅が広がったり、出力が低下することのない狭帯域レ-ザ装置を提供することを目的とする。【構成】内部にガスレ-ザ媒質が封入され光共振器23内に設けられた気密容器12と、気密容器12内で発生したレ-ザ光を狭帯域化するエタロン22と、気密容器12のレ-ザ光の光軸方向に沿う両端面にそれぞれ気密容器12に対して気密かつ少なくとも一方が角度調節自在に設けられたレ-ザ光を透過する一対のウインド部材13と、ウインド部材13を回動駆動する電気マイクロメ-タ35と、気密容器12内のガスレ-ザ媒質の圧力を検出する圧力センサ37と、圧力センサ37からの検出信号によって電気マイクロメ-タ35を作動させてウインド部材13の角度を調節する制御装置18とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光共振器と、内部にガスレ-ザ媒質が封入され上記光共振器内に設けられた気密容器と、この気密容器内に設けられ上記ガスレ-ザ媒質を励起してレ-ザ光を発生させる励起手段と、上記光共振器内に設けられ上記気密容器内で発生したレ-ザ光を狭帯域化する狭帯域化手段と、上記気密容器の上記レ-ザ光の光軸方向に沿う両端面にそれぞれ上記気密容器に対して気密かつ少なくとも一方が角度調節自在に設けられた一対のウインド部材と、上記気密容器に回動自在に設けられたウインド部材を回動駆動する駆動手段と、上記気密容器内に封入されたガスレ-ザ媒質の圧力を検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号によって上記駆動手段を作動させて上記ウインド部材の角度を調節する制御手段とを具備したことを特徴とする狭帯域レ-ザ装置。