カラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120066
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313720
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】着色層の端部に盛り上がりがなく、また膜厚が薄くても厚みが均一で信頼性の高いカラーフィルタの製造方法を提供する。【構成】 β-ジケトンを用いて化学修飾した金属アルコキシドを主成分とするゲル膜8をゾルゲル法で透明基板4上に形成した後、所望の着色部形状を有するマスク9をゲル膜8に重ね合わせ、マスク9側から紫外光を照射した後、マスク9を除去し、ゲル膜8上に所望の色相の顔料を含むシランアルコキシドを主成分とするゾル液を用いてゾルゲル法により着色ゲル層11を形成し、水で洗浄することにより紫外光を照射していない部分に選択的に着色ゲル層11を形成した後、熱処理することにより透明基板4上に金属酸化物を主成分とする薄膜層が形成され、かつその面上の所望する位置に所望するフィルタの色相を有する顔料を含有したSiO2 を主成分とする着色薄膜層が形成される。

請求項（抜粋）：

β-ジケトンを用いて化学修飾した金属アルコキシドを主成分とするゲル膜をゾルゲル法により透明基板上に形成した後、所望の着色部形状を有するマスクを前記ゲル膜に重ね合わせ、前記マスク側から紫外光を照射した後マスクを除去し、次いで前記ゲル膜上に所望の色相の顔料を含むシランアルコキシドを主成分とするゾル溶液を塗布してゾルゲル法により顔料を含有した着色ゲル層を形成し、前記ゲル膜および前記着色ゲル層を溶解または分解しない液体で洗浄することにより紫外光が照射された部分の前記ゲル膜上に存在する着色ゲル層を除去して紫外光が照射されていない前記ゲル膜上部分にのみ選択的に着色ゲル層を形成した後、熱処理することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505

FI (3件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505

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