特許

J-GLOBAL ID：200903094760751812

エレクトロマイグレーション試験装置

発明者： 西村 浩一
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095741
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293532
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 半導体集積回路の内部配線の信頼性試験装置、特に半導体製品内の半導体基板上の配線の実動作時のエレクトロマイグレーション耐性を評価する信頼性試験装置に関し、多種の試験用信号によるエレクトロマイグレーション試験を低コストで容易に実現する。【構成】 NOR回路11とインバータチェーン12からリングオシレータ14を、OR回路18から論理回路部19を、増幅回路20から増幅回路部21を、試験回路13から被試験配線部15を構成する。発振回路部入力16から電源電圧を加えて発振信号を発生させ、外部信号入力17から外部信号を入力し、論理回路部19のOR回路18で、リングオシレータ14により発生させた発振信号と外部信号の入力を合成させ、さらに、この合成信号を増幅回路部21の増幅回路20により、増幅信号入力22の調節で、増幅させ、被試験配線部15の試験配線13に負荷させる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に、リングオシレータの発振回路部と、外部入力信号をリングオシレータ出力と合成する論理回路部と、合成された信号を増幅する増幅回路部と、試験配線からなる被試験回路部を備え、エレクトロマイグレーション試験用信号として、半導体基板上リングオシレータ出力信号と外部入力信号の双方を使用可能にしたことを特徴とするエレクトロマイグレーション試験装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  G01R 31/30

FI (4件)：

H01L 21/66 S ,  G01R 31/26 H ,  G01R 31/30 ,  G01R 31/28 V