特許
J-GLOBAL ID:200903094761426044
ビームからビームへの並列均一性補正
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 今城 俊夫
, 西島 孝喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-007255
公開番号(公開出願番号):特開2005-208641
出願日: 2005年01月14日
公開日(公表日): 2005年08月04日
要約:
【課題】 マルチ・ビーム走査システムにおける、ビームからビームへの強度の非均一性を調整する。【解決手段】 各々が、対応する光ビームを生成するためのプログラマブルなドライバを持つ、光源のアレイ、光検知器のアレイ、光ビームを、光検知器アレイの上に偏向するためのビーム・スプリッタ、および、光ビームの各々に対する、プログラマブルなドライバを用いてビーム強度を同時に調整するためのフィードバック・ループのアレイであって、各プログラマブルなドライバが、光検知器を、光源のアレイによって生成された、並列的なビームからビームへの均一性補正を調整するための参照ソースとして用いる、フィードバック・ループのアレイ、を備えるマルチ・ビーム走査システム。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
各々が、対応する光ビームを生成するためのプログラマブルなドライバを持つ、光源のアレイ、
光検知器のアレイ、
前記光ビームを、前記光検知器アレイの上に偏向するためのビーム・スプリッタ、および、
前記光ビームの各々に対する、前記プログラマブルなドライバを用いてビーム強度を同時に調整するためのフィードバック・ループのアレイであって、各プログラマブルなドライバが、前記光検知器を、光源の前記アレイによって生成された、並列的なビームからビームへの均一性補正(parallel beam to beam uniformity correction)を調整するための参照ソース(reference source)として用いる、フィードバック・ループのアレイ、
を備えるマルチ・ビーム走査システム。
IPC (4件):
G02B26/10
, B41J2/44
, H04N1/036
, H04N1/113
FI (5件):
G02B26/10 Z
, G02B26/10 B
, H04N1/036 A
, B41J3/00 D
, H04N1/04 104A
Fターム (32件):
2C362AA07
, 2C362AA16
, 2C362AA55
, 2C362BA67
, 2H045BA23
, 2H045BA32
, 2H045CB42
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA06
, 5C051DB02
, 5C051DB09
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DE12
, 5C051DE15
, 5C051DE29
, 5C072AA03
, 5C072BA20
, 5C072DA02
, 5C072HA02
, 5C072HA06
, 5C072HA08
, 5C072HA13
, 5C072HB01
, 5C072HB08
, 5C072UA06
, 5C072UA11
, 5C072UA13
, 5C072UA14
, 5C072XA04
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