特許
J-GLOBAL ID:200903094761426044

ビームからビームへの並列均一性補正

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-007255
公開番号(公開出願番号):特開2005-208641
出願日: 2005年01月14日
公開日(公表日): 2005年08月04日
要約:
【課題】 マルチ・ビーム走査システムにおける、ビームからビームへの強度の非均一性を調整する。【解決手段】 各々が、対応する光ビームを生成するためのプログラマブルなドライバを持つ、光源のアレイ、光検知器のアレイ、光ビームを、光検知器アレイの上に偏向するためのビーム・スプリッタ、および、光ビームの各々に対する、プログラマブルなドライバを用いてビーム強度を同時に調整するためのフィードバック・ループのアレイであって、各プログラマブルなドライバが、光検知器を、光源のアレイによって生成された、並列的なビームからビームへの均一性補正を調整するための参照ソースとして用いる、フィードバック・ループのアレイ、を備えるマルチ・ビーム走査システム。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
各々が、対応する光ビームを生成するためのプログラマブルなドライバを持つ、光源のアレイ、 光検知器のアレイ、 前記光ビームを、前記光検知器アレイの上に偏向するためのビーム・スプリッタ、および、 前記光ビームの各々に対する、前記プログラマブルなドライバを用いてビーム強度を同時に調整するためのフィードバック・ループのアレイであって、各プログラマブルなドライバが、前記光検知器を、光源の前記アレイによって生成された、並列的なビームからビームへの均一性補正(parallel beam to beam uniformity correction)を調整するための参照ソース(reference source)として用いる、フィードバック・ループのアレイ、 を備えるマルチ・ビーム走査システム。
IPC (4件):
G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  H04N1/036 ,  H04N1/113
FI (5件):
G02B26/10 Z ,  G02B26/10 B ,  H04N1/036 A ,  B41J3/00 D ,  H04N1/04 104A
Fターム (32件):
2C362AA07 ,  2C362AA16 ,  2C362AA55 ,  2C362BA67 ,  2H045BA23 ,  2H045BA32 ,  2H045CB42 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB09 ,  5C051DB22 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DE12 ,  5C051DE15 ,  5C051DE29 ,  5C072AA03 ,  5C072BA20 ,  5C072DA02 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA08 ,  5C072HA13 ,  5C072HB01 ,  5C072HB08 ,  5C072UA06 ,  5C072UA11 ,  5C072UA13 ,  5C072UA14 ,  5C072XA04

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