特許

J-GLOBAL ID：200903094769934146

プローブカード及び試験装置

発明者： 杭谷 哲也
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329788
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 電気部品の電気的端子に容易に接触することができるプローブカード及び試験装置を提供する。【解決手段】 電気部品の特性を試験するために用いられるプローブカードまたは試験装置であって、電気的端子に接触させる複数の接触子と、接触子を接合させる接触子基盤と、接触子基盤へ電気信号を伝達する信号伝達部と、接触子基盤の重心の近傍を支点として接触子基盤を回転させる自動レベリング機構とを備える。

請求項（抜粋）：

電気部品の電気的端子に接触し、前記電気部品の特性を試験するために用いられるプローブカードであって、前記電気的端子に接触させる複数の接触子と、前記接触子を接合させる接触子基盤と、前記接触子基盤へ電気信号を伝達する信号伝達部と、前記接触子基盤の重心の近傍を支点として前記接触子基盤を回転させる自動レベリング機構とを備えることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (24件)：

2G011AA17 ,  2G011AC01 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G032AB01 ,  2G032AE08 ,  2G032AF05 ,  2G032AG01 ,  2G032AK03 ,  2G032AK11 ,  2G032AL03 ,  2G032AL07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD01 ,  4M106DD05 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ32