特許

J-GLOBAL ID：200903094772325266

ウエハのフラットネス測定機構

発明者： 石森 英男 ,  徳冨 照明 ,  志澤 礼健
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298045
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125755
出願日： 1996年10月22日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 ウエハに歪みを生ずることなくクランプして円滑に高速回転し、表面と裏面の距離をそれぞれ測定する。【解決手段】 フラットネス測定機構10はウエハ回転機構4と測距部5により構成され、回転機構4は円筒状モータ41と、その回転子412 をエアベアリング424 により支持する支持部42よりなり、測距部5はウエハ1の両面に対応する2個の光学式測距器52a,52b を有し、円筒状モータ41の移動によりウエハ1の両面をスパイラル状に走査してそれぞれの距離を測定する。各クランプ爪414 は固定片4141と押圧片4142とに嵌入された両ボールKにより、ウエハ1を点押圧して歪みなくクランプする。

請求項（抜粋）：

円筒状の固定子と、該固定子に嵌入されエアベアリングにより支持された円筒状の回転子よりなり、ベースに固定された固定板のガイド溝に沿って回転軸に対して直角方向に移動するモータと、該回転子の端面に設けられ、被検査のウエハをクランプする複数のクランプ爪とを有するウエハ回転機構、および該クランプされたウエハの両面に対応して一定の間隔に前記ベースに固定され、前記モータの移動により該ウエハの表面と裏面とをスパイラル状に走査して、それぞれの距離を測定する2個の光学式測距器とにより構成されたことを特徴とする、ウエハのフラットネス測定機構。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01B 21/30 101

FI (2件)：

H01L 21/66 P ,  G01B 21/30 101 F