特許
J-GLOBAL ID：200903094777486756
有機金属気相成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-019607
公開番号（公開出願番号）：特開平5-221790
出願日： 1992年02月05日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 基板即ちサセプタの基板装着面の温度分布の調整を極めて容易にした有機金属気相成長装置を提供しようとするものである。【構成】 基板装着用の上板を有する円筒形サセプタと、サセプタの内部で上板に対向して配置した環状ヒータと、上板の中心に対向して上向きに開口する冷却ガス供給管と、円筒壁内面に対向して複数の開口を備えた冷却ガス供給管とを有し、冷却用ガス供給管にそれぞれ独立した流量調節弁を備えたことを特徴とする有機金属気相成長装置である。
請求項（抜粋）：
基板装着用の上板を有する円筒形サセプタと、サセプタの内部で上板に対向して配置した環状ヒータと、上板の中心に対向して上向きに開口する冷却ガス供給管と、円筒壁内面に対向して複数の開口を備えた冷却ガス供給管とを有し、上記冷却用ガス供給管にそれぞれ独立した流量調節弁を備えたことを特徴とする有機金属気相成長装置。
IPC (4件)：
C30B 25/14
, C30B 25/02
, C30B 25/12
, H01L 21/205
