特許
J-GLOBAL ID：200903094778900777
蒸着用ボート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017858
公開番号（公開出願番号）：特開平7-207434
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【構成】 導電性セラミックスからなる長尺ブロック状の蒸着用ボート本体(2)の上面に溶融金属保持用の溝状キャビティ(3)が形成され、上記ボート本体(2)の長さ方向両端部にそれぞれ電極を取り付けて該ボート本体(2)を通電するようにした蒸着用ボート(1)において、上記キャビティ(3)の長さ方向中央部におけるボート本体(2)の縦断面積を上記キャビティ(3)の長さ方向両端部におけるボート本体(1)の縦断面積よりそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボート。【効果】 本発明の蒸着用ボートによれば、ボート本体のキャビティ形成部分において可及的に均一な温度分布を有するため、溶融金属がキャビティ全長に亘って均一に蒸発し、溶融金属がキャビティからあふれたり突沸したりすることがないものである。
請求項（抜粋）：
導電性セラミックスからなる長尺ブロック状の蒸着用ボート本体の上面に溶融金属保持用の溝状キャビティが形成され、上記ボート本体の長さ方向両端部にそれぞれ電極を取り付けて該ボート本体を通電するようにした蒸着用ボートにおいて、上記キャビティの長さ方向中央部におけるボート本体の縦断面積を上記キャビティの長さ方向両端部におけるボート本体の縦断面積よりそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボート。
IPC (2件)：
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