特許

J-GLOBAL ID：200903094780186798

パルスレーザ光発生装置

発明者： 原田 昌樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-028475
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233867
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】AO-Qスイッチの利点を生かしたままで、スイッチング時間をより早くしてより高い出力が可能なパルスレーザ光発生装置を実現する。【解決手段】半導体レーザ1、励起用光学系2、レーザ結晶3、AO-Qスイッチ4及びレーザ出力ミラー5を備える従来のレーザ共振器において、レーザ結晶3でのビーム径を変えずにQスイッチ4内部のレーザ光のビーム径のみを小さくするために、対となる凸レンズ9及び凹レンズ10を、レーザ結晶3とQスイッチ4との間及びQスイッチ4とレーザ出力ミラー5との間にそれぞれ配置する。

請求項（抜粋）：

2つの反射面と、その2つの反射面の間に配置されたレーザ媒質及び超音波による音響光学効果を利用したQスイッチとを少なくとも備えたパルスレーザ発生部と、前記Qスイッチ内部に伝搬する超音波の伝搬方向でのレーザビーム径を前記レーザ媒質内部よりも前記Qスイッチ内部で小さくするためのビーム変換手段とを備えたことを特徴とするパルスレーザ光発生装置。