搬送装置及び搬送方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331153
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186220
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】LCD基板を搬送する工程の際にLCD基板の位置を検出することができるので、正確な位置決めを行うことが可能となるLCD基板の搬送方法及び搬送装置を提供すること。【解決手段】LCD基板を搬送する搬送アーム14の基板載置部にLCD基板の位置を検出する検出機構32、33、36を設けた。

請求項（抜粋）：

被搬送体を移動可能な第1の手段に設ける工程と、この第1の手段に対して前記被搬送体を相対的に静止した状態で、基準位置からのズレ量を検出する工程と、前記被搬送体が設けられた第1の手段を、第2の手段に対して相対的に移動させて前記被搬送体を基準位置に位置合わせする工程とを具備することを特徴とする搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G01R 1/06 , G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/68 F , G01R 1/06 E , G01R 31/28 K

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