特許

J-GLOBAL ID：200903094784857050

減圧気化冷却装置

発明者： 森井 高之
出願人/特許権者： 株式会社テイエルブイ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-024398
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187750
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】 冷却水の蒸発潜熱により冷却を行う気化冷却において、冷却温度を変更する場合に時間遅れが生じないようにすること。【構成】 反応釜21のジャケット部5に冷却水供給通路12とエア-供給通路26を流量調節弁13を介して接続する。ジャケット部5内の圧力を検出する圧力センサ-16を取り付ける。圧力センサ-16と流量調節弁13とを図示しない制御部を介して接続する。ジャケット部5の排出口2,9を組合せポンプ22のエゼクタ32に接続する。エゼクタ32とタンク31とポンプ30を連通する。

請求項（抜粋）：

被冷却物を気化冷却する減圧気化冷却室を減圧ポンプと連通すると共に、該減圧気化冷却室に冷却水供給通路とエア-供給通路とを連通し、少なくともエア-供給通路に流量調節弁を配置し、上記減圧気化冷却室に圧力検出手段を設けて、該圧力検出手段からの検出信号により上記流量調節弁を開閉制御する制御部を設けた減圧気化冷却装置。