特許

J-GLOBAL ID：200903094787396810

ペレット取出し装置

発明者： 吉川 桂史
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159019
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008102
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 粘着シート上に整列状態を保って貼着したペレットを取り出す装置の提供を目的とする。【構成】 ウェーハを所定の形状、寸法に切断することにより形成されたペレット3を整列状態を保って貼着し水平方向に移動される粘着シート6上で、所定位置に位置決めされたペレット3を粘着シート6の下面より突き上げる突上げ部材9と、突上げ部材9の上方に配置され突上げ部材9により突き上げられたペレット3を吸着し、上下動並びに水平動する吸着コレット10とを有するペレット取出し装置において、取出し予定のペレット3を突き上げる第1の突上げ部材9の近傍に、取出し予定のペレット3と隣接するペレット3aを選択的に突き上げる第2の突上げ部材11を配置したことを特徴とするペレット取出し装置。

請求項（抜粋）：

ウェーハを所定の形状、寸法に切断することにより形成されたペレットを整列状態を保って貼着した粘着シートを水平方向に移動させるXYテーブルと、所定位置に位置決めされた粘着シート上のペレットを粘着シートの下面より突き上げる突上げ部材と、突上げ部材の上方に配置され突上げ部材により突き上げられたペレットを吸着し、上下動並びに水平動する吸着コレットとを有するペレット取出し装置において、取出し予定のペレットを突き上げる第1の突上げ部材の近傍に、取出し予定のペレットと隣接するペレットを選択的に突き上げる第2の突上げ部材を配置したことを特徴とするペレット取出し装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/68 E ,  H01L 21/52 F ,  H01L 21/78 Y