特許
J-GLOBAL ID：200903094790293410
湿式研磨方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野末 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-359981
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198559
出願日： 1992年12月31日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【構成】 回転するバフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホイールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研磨する湿式研磨装置である。【効果】 研磨液に対流をさせることによって攪拌することができるため、研磨液が貯留槽から流出した後も、研磨剤は分離しにくく、この結果、研磨液としての機能が充分発揮されるものである。
請求項（抜粋）：
回転するバフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホイールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研磨することを特徴とする湿式研磨方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭62-176767
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特開昭57-114484
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