ポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294423
公開番号（公開出願番号）：特開平9-168961
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】研磨クロス面の適度な表面粗さを確保し、且つドレッシングにより研磨クロス面が直線的に削られるポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法及び装置を提供すること。【解決手段】回転する定盤の研磨クロス面に半導体ウエハ上面に形成されたデバイスパターンを当接し研磨平坦化するポリッシング装置の回転する該定盤の研磨クロス面上に回転するドレッサー下面を当接させ、該研磨クロス面をドレッシュするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法であって、定盤上面に貼付られた研磨クロスは発砲ポリウレタン研磨クロスであり、ドレッサー10はドレッサー本体11の下面に所定幅で微粒のダイヤモンドを電着させてなるダイヤモンド電着リング13を形成した構成であり、該ドレッサー10下面のダイヤモンド電着リング13を発砲ポリウレタン研磨クロス面に当接してドレッシュする。

請求項（抜粋）：

上面に研磨クロスが貼付られた定盤を具備し、回転する該定盤の研磨クロス面に半導体ウエハ上面に形成されたデバイスパターンを当接し研磨平坦化するポリッシング装置の回転する該定盤の研磨クロス面上に回転するドレッサー下面を当接させ、該研磨クロス面をドレッシュするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法であって、前記定盤上面に貼付られた研磨クロスは発砲ポリウレタン研磨クロスであり、前記ドレッサーはドレッサー本体の下面に所定幅で微粒のダイヤモンドを電着させてなるダイヤモンド電着リングを形成した構成であり、該ドレッサー下面のダイヤモンド電着リングを前記発砲ポリウレタン研磨クロス面に当接してドレッシュすることを特徴とするポリッシング装置における研磨クロスのドレッシング方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-071661
特開昭64-071661

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