特許

J-GLOBAL ID：200903094810216409

遠心乾燥装置

発明者： 山本 俊明
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307270
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142441
出願日： 1993年11月13日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 大径の基板の乾燥用としても十分に小型であると共に、乾燥時間の短縮、静電気による基板への影響の低減を達成した遠心乾燥装置を提供すること。【構成】 基板保持カセット20を遠心力作用方向側にて支承して該基板保持カセットに対して補強作用をなすカセット支承部材45(62)と、該基板保持カセットからの基板の脱落を防止する脱落防止手段48とを設け、以て該基板保持カセットの小型化を可能とし、上記の効果を得ている。

請求項（抜粋）：

複数枚の基板をその主面同士が平行となるように整列して保持し得る基板保持カセットを、その保持した基板の主面が回転体の回転中心に対して略直交する状態にて該回転体に装填し、該回転体を回転駆動することにより前記基板を乾燥させる遠心乾燥装置において、前記基板保持カセットを遠心力作用方向側にて支承するカセット支承部材と、前記基板の前記基板保持カセットからの脱落を防止する脱落防止手段とを備えたことを特徴とする遠心乾燥装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 361 ,  H01L 21/304 ,  F26B 5/08 ,  F26B 11/08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平4-056452
  
• 特開昭52-131255
  
• 特公平4-056452
  
• 特開昭52-131255