特許

J-GLOBAL ID：200903094817270948

蒸着装置

発明者： 高木 悟 ,  矢上 輝行 ,  室伏 光寿 ,  鈴木 巧一
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160150
公開番号（公開出願番号）：特開平5-331633
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【構成】プラズマガン1と、電子ビームのアノードであり、蒸着中に移動可能な蒸着原料ハース4と、原料ハースと同電位で、電子ビームによる蒸着原料の加熱、蒸発を妨げない位置に設けられ、蒸着中に蒸着原料ハースの位置を変化させても、電子ビームとプラズマからみた実効陽極面積が一定に保たれるような補助陽極14とを有する蒸着装置。【効果】成膜速度や薄膜特性の変動がなく、蒸着原料の有効利用と原料補給が容易となる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生することによりプラズマ流を形成可能なプラズマガンと、電子ビームのアノードとして機能し、蒸着中に移動可能な蒸着原料ハースと、蒸着原料ハースと同電位で、電子ビームによる蒸着原料の加熱、蒸発を妨げない位置に設けられた補助陽極であって、蒸着中に蒸着原料ハースの位置を変化させても、電子ビームとプラズマからみた実効陽極面積が一定に保たれるような補助陽極とを有することを特徴とする蒸着装置。