特許

J-GLOBAL ID：200903094820763173

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-007178
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011444
出願日： 1991年01月24日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【構成】 下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。 -CH2 -(A) C(-B-SO2 -SO2 -D)- (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aは水素原子又はアルキル基を示し、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素、-CO-O-R1 -又は-CO-NR2 -R1 -を示し、R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示し、R2 は水素原子、アルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。【効果】 高感度であり、解像力に優れている。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する繰り返し単位を少なくとも1モル%含む高分子化合物を含有するポジ型感光性組成物。 -CH2 -(A)C(-B-SO2-SO2-D)- (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aは水素原子又はアルキル基を示し、Bは単結合、二価の芳香族炭化水素、-CO-O-R1- 、又は -CO-NR2-R1-を示し、R1 は二価の脂肪族又は芳香族炭化水素を示し、R2 は水素原子、アルキル基、アリール基又はアラルキル基を示し、nは1以上の整数を示す。

IPC (2件)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/027