積層式圧電素子およびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003090
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187848
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】歩留まりおよび信頼性が高く、製造コストの低いインクジェット式印字ヘッドに用いられる積層式圧電素子及びその製法を提供するものである。【構成】圧電セラミック層40と内部電極層42,44とを交互に積層した構成を有し、その積層方向に開けられた細長い穴部52により少なくともその中央部が複数のアクチュエータ部46に分割されている。前記アクチュエータ部46の各々に対する電極へ、選択的に電圧を印加することにより、所望のアクチュエータ部46を独立して駆動することができる。又、アクチュエータ部46の低電圧駆動を可能とする。また、積層式圧電素子38に設けられたスリットが細長い穴部52であり、前記各アクチュエータ部46がその端部で圧電不活性部48に保持されるので、幅が細くても製造時や駆動時に折れにくい。

請求項（抜粋）：

インクジェット式印字ヘッドのキャビティ内に圧力変動を生じさせ、前記キャビティ内のインクを噴射させる積層式圧電素子において、圧電セラミック層と内部電極層とを交互に積層した構成を有し、その積層方向に開けられた細長い穴部により少なくともその中央部が複数のアクチュエータ部に分割されており、前記内部電極層のうち、奇数番目の電極層と偶数番目の電極層とが、少なくとも前記分割されたアクチュエータ部の各々を介して積層方向に対向するように配設され、前記奇数番目の電極層と偶数番目の電極層のうち、少なくとも一方の電極層が各アクチュエータ部に対する複数の電極により構成され、各々の電極が互いに絶縁されてなることを特徴とする積層式圧電素子。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-208051
特開平4-341851
特開平3-248483

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