特許
J-GLOBAL ID:200903094829721287

圧電式圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-152885
公開番号(公開出願番号):特開平10-332509
出願日: 1997年05月27日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 部品点数が少なく、安価且つ小型の圧電式圧力センサを提供すること。【解決手段】 圧電式圧力センサ1は、陽電極層8の両面に絶縁層を介してシールド層6と陰電極層が形成された本体40を有する。本体40の端部には、各層を部分的に剥離してシールド層6と陰電極層に接続されたコンタクト2と、陽電極層8に接続されたコンタクト4が配置される。
請求項(抜粋):
一方の電極層の両面に絶縁層を介して他方の電極層及びシールド層を夫々形成し、更にそれらの外側に保護層を形成した略矩形帯状の本体を具え、該本体にはコンタクトを2個設け、前記コンタクトは該コンタクト近傍の前記保護層を剥離して一方のコンタクトは前記一方の電極層に、他方のコンタクトは前記他方の電極層及び前記シールド層に夫々接続されることを特徴とする圧電式圧力センサ。
IPC (2件):
G01L 9/08 ,  G01L 1/16
FI (2件):
G01L 9/08 ,  G01L 1/16

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