特許
J-GLOBAL ID：200903094830178937
半導体圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-105917
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180718
出願日： 1991年05月10日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 広い測定レンジにおいて性能の良い圧力信号を出力することができる半導体圧力センサを提供するにある。【構成】 測定圧力を受け異なる測定レンジでこれに対応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、先の各圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され先の測定レンジの最大スパンに対応する圧力により先の圧力導入孔を閉じるストップ弁と、先の複数の圧力信号のうち最も感度が良くしかも正しい圧力を出力している先の圧力信号を判別して選択出力する信号判別手段とを具備する半導体圧力センサである。
請求項（抜粋）：
測定圧力を受け異なる測定レンジでこれに対応する圧力信号を出力する複数の圧力センサと、前記各圧力センサの圧力導入孔に格別に配置され前記測定レンジの最大スパンに対応する圧力により前記圧力導入孔を閉じるストップ弁と、前記複数の圧力信号のうち最も感度が良くしかも正しい圧力を出力している前記圧力信号を判別して選択出力する信号判別手段とを具備することを特徴とする半導体圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
