特許

J-GLOBAL ID：200903094830363521

SOR露光装置

発明者： 肥後村 誠 ,  河合 靖雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159704
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201696
出願日： 1986年12月01日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 各構成装置を有機的に結びつけ、装置全体の動作を最適化して装置の稼動率を上げる。【構成】 シンクロトロン放射光を発生するSORリング、およびそれを制御するSORリング制御手段2と、SORリングの周囲に放射状に配置された複数の露光装置、およびこれらをそれぞれ制御する複数の露光装置制御手段4a〜4eと、SORリング制御手段2と複数の露光装置制御手段4a〜4eとの間を接続しデータの転送を行うための通信手段5とを備える。

請求項（抜粋）：

シンクロトロン放射光を発生するSORリング、およびそれを制御するSORリング制御手段と、該SORリングの周囲に放射状に配置された複数の露光装置、およびこれらをそれぞれ制御する複数の露光装置制御手段と、前記SORリング制御手段と前記複数の露光装置制御手段との間を接続しデータの転送を行うための通信手段と、を備えたことを特徴とするSOR露光装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭58-118999
  
• 特開昭60-115200
  
• 特開昭61-200700
  
• 特開昭61-080800