特許

J-GLOBAL ID：200903094835107027

バンプ形成装置

発明者： 渥美 幸一郎 ,  安藤 鉄男
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015384
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232132
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【構成】 キャピラリ5に通されたワイヤ19の先端部にボ-ル19aを形成し、このボ-ル19aをウエハ3の電極3aに圧着させて上記ワイヤ19を切断することによって上記ウエハ3の電極3aにボ-ルバンプ27を形成するバンプ形成装置2であって、上記電極3aとボ-ル19aの接合を第1、第2のカバ-15、26で遮蔽された還元雰囲気A中で行うこととしたものである。【効果】 このような構成によれば、ウエハに形成したボ-ルバンプが酸化することを有効に防止することができるから、このボ-ルバンプを使用してより良好な実装を行うことが可能である。

請求項（抜粋）：

キャピラリに通されたワイヤの先端部にボ-ルを形成し、このボ-ルを被接合材の電極に圧着させた後上記ワイヤを切断することによって上記被接合材の電極にボ-ルバンプを形成するバンプ形成装置において、上記電極とボ-ルの圧着部分を酸化防止雰囲気で覆う遮蔽手段を有することを特徴とするバンプ形成装置。