特許

J-GLOBAL ID：200903094841775481

半導体加速度検出装置

発明者： 山本 雅裕
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-246052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074966
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 検出感度を向上させ、小さな加速度を精度良く検出できる半導体加速度検出装置を得ることを目的とする。【構成】 加速度検出梁1の溝2を台座5側の縁3よりピエゾ抵抗効果を利用したゲージ抵抗4の長さだけ除去し、そのゲージ抵抗4のみ残すように構成することにより、加速度が加わった際、薄肉部2に生じる応力をゲージ抵抗4にのみ集中させる。

請求項（抜粋）：

薄肉部を有する加速度検出梁の一端が台座に固定され、その薄肉部の台座側の縁に半導体のピエゾ抵抗効果を利用したゲージ抵抗が設けられた半導体加速度検出装置において、上記加速度検出梁の薄肉部を台座側の縁よりゲージ抵抗の長さだけ除去したことを特徴とする半導体加速度検出装置。