ブラッグ回折格子の形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213893
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062636
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】ブラッグ回折格子のブラッグ反射波長を容易に変化させ、かつコストを抑えたブラッグ回折格子の形成方法を提供する。【解決手段】感光性の光導波路に隣接して相マスクを配置し、平行ビームを前記相マスクを介して前記光導波路へ照射し、前記光導波路にブラッグ回折格子を形成する方法において、前記平行ビームを前記相マスク上に走査させ、かつ、平行ビームの照射時間および/または照射強度を走査位置によって変化させてブラッグ回折格子のブラッグ反射波長を制御する。

請求項（抜粋）：

感光性の光導波路に隣接して相マスクを配置し、平行ビームを前記相マスクを介して前記光導波路へ照射し、前記光導波路にブラッグ回折格子を形成する方法において、前記平行ビームを前記相マスク上に走査させ、かつ、平行ビームの照射時間および/または照射強度を走査位置によって変化させてブラッグ回折格子のブラッグ反射波長を制御することを特徴とするブラッグ回折格子の形成方法。

IPC (4件)：

G02B 6/10 , G02B 5/18 , G02B 6/13 , G02B 6/16

FI (4件)：

G02B 6/10 C , G02B 5/18 , G02B 6/16 , G02B 6/12 M

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