特許
J-GLOBAL ID：200903094865089180
走査型トンネル顕微鏡用探針
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-200862
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045112
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡において、印加電圧を高く(5V以上)にしても安定に原子レベルの分解能を保つことのできる探針を容易に作成すること。【構成】 探針形状に形成された芯金101の表面に、炭化物、窒化物または酸化物のいずれかの金属材料による薄膜層102を形成して探針100を作成する。
請求項（抜粋）：
探針形状に形成された芯金の表面に、炭化物、窒化物または酸化物のいずれかの金属材料による薄膜層を有する走査型トンネル顕微鏡用探針。
IPC (2件)：
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