特許
J-GLOBAL ID：200903094873415215
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292604
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126743
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 装置立ち上げ時に一時に大電力が消費されることのない処理装置を提供する。【解決手段】 複数の加熱型処理ユニットU1,U2,...内に組み込まれた各ヒータh1,h2,...について電源が入ったままに保たれる立ち上げ時期が互いに重ならないように制御部95,96及びAND型ゲート素子G1,G2を用いて制御する。同じ時期に複数のヒータh1,h2,...について電源が入ったままに保たれることがないので、装置立ち上げ時に一時に大きな電力が消費されることが防止される。
請求項（抜粋）：
被処理基板を加熱する複数の加熱手段と、これら加熱手段に電力の供給をオン・オフするメインスイッチと、前記メインスイッチがオンされたとき、前記各加熱手段に対して電力を時間的にずらしながら供給していく供給手段とを具備することを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 567
, H01L 21/68 A
