特許

J-GLOBAL ID：200903094874102520

耐酸化性・耐摩耗性被膜付き物品

発明者： 岡部 信一 ,  石井 芳朗
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社 ,  株式会社ライムズ ,  日本電子工業株式会社 ,  日本コーティングセンター株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123246
公開番号（公開出願番号）：特開平8-296064
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】 基材との密着力と耐久性に優れた耐酸化性と耐摩耗性を合せ持つ硬質被膜付き物品の提供。【構成】 金属部材表面に、窒化層からなる第1層と、その上に形成したTiAlN膜の第2層からなる複合被膜を形成する。また、前記第2層はTiAlN膜中のAl濃度が断続的に変化した積層膜あるいは連続的に変化した傾斜膜あるいは前記両被膜が混在した積層傾斜膜で構成するか、または前記第1層と第2層との間に靭性に優れた中間層を設ける。

請求項（抜粋）：

金属部材を300〜650°Cの温度に保持し、アンモニアガスと水素ガスを用い、金属部材の表面に0.001〜2.0 mA/cm2 の電流密度のグロー放電を行いイオン窒化することにより形成した窒化層の第1層と、該第1層上にPVD法によりTiAlN膜を積層して第2層とすることを特徴とする耐酸化性・耐摩耗性被膜付き物品。

IPC (3件)：

C23C 28/04 ,  B23B 27/14 ,  C23C 14/06

FI (6件)：

C23C 28/04 ,  B23B 27/14 A ,  C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 P