特許

J-GLOBAL ID：200903094884540283

窒化クロム膜被覆基体

発明者： 西山 哲 ,  江部 明憲 ,  今井 修 ,  緒方 潔
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-251858
公開番号（公開出願番号）：特開平7-109561
出願日： 1993年10月07日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【構成】 基体が、クロム膜を介するか介せずに、実質的に遊離クロム原子を含有する窒化クロム膜で被覆されている窒化クロム膜被覆基体。【効果】 膜中に、化学的な活性度が高いクロム原子が存在することとなり、基体と膜との密着性を向上させることができる。また、窒化クロム含有膜が、基体側から膜表面側にかけてクロム原子と窒素原子との比がことなる膜である場合においては、基体近傍には、窒素原子と結合しないクロム原子よりなる膜又は窒素原子と結合しないクロム原子が多く含有された膜が形成され、膜の表面には、窒素原子と結合しないクロム原子が少なく、又は全く分布していない膜が形成されることにより、膜の密着性をより一層向上させることができ、膜全体として密着性に優れ、化学的に安定な特性を有する膜が被覆された基体を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基体が、クロム膜を介するか介せずに、実質的に遊離クロム原子を含有する窒化クロム膜で被覆されていることを特徴とする窒化クロム膜被覆基体。