特許
J-GLOBAL ID：200903094888161910
静電容量式触覚センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156500
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005482
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 3次元領域における外部からの力によって対向する電極間の覆われる面積の変化をX軸方向およびY軸方向に、対向する電極間の距離の変化をZ軸方向にそれぞれ独立して静電容量の変化値として検出することにより正確で信頼性の高い静電容量式触覚センサを提供する。【構成】 枠体に固定された共通の基板12の上面に第1の固定電極9を設け、固定電極9とこれに対向する一定の電極間距離を維持しながら平行移動する第2の移動電極7a〜7dを設ける。これら電極間によって覆われる面積の変化によりX軸方向およびY軸方向の力を検出する。基板12の下面に第2の固定電極11を設け、固定電極11とこれに対向して覆われる面積を一定としてZ軸方向に電極間距離を移動する第2の移動電極13を設ける。これら電極間距離の変化によりZ軸方向の力を検出する。このように外部からの3次元領域の力は、電極間の面積または距離の変化を静電容量の変化として検出され、X軸、Y軸、Z軸についてそれぞれ独立して測定される。
請求項（抜粋）：
面上の固定電極を設けた固定電極板と面上の移動電極を設けた移動電極板とを対向配置して構成され、前記移動電極板に外部からの力に対して弾性変形可能な弾性部材を設け、前記固定電極面上を移動電極が移動することに伴う両電極間の静電容量の変化に基づいて外部からの力を検出する静電容量式触覚センサにおいて、X軸方向およびY軸方向に対する力の大きさおよび向きを検出する第1の固定電極および第1の移動電極と、Z軸方向に対する力の大きさおよび向きを検出する第2の固定電極および第2の移動電極とを有し、前記第1の移動電極は前記第1の固定電極面に対して一定の電極間距離を維持しながら平行移動し、第1の移動電極と第1の固定電極によって覆われる電極間の面積の変化、並びに、前記第2の固定電極面と第2の移動電極面との電極間距離の変化をそれぞれ静電容量の変化として検出し、外部からの力をX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の各成分に分解して測定することを特徴とする静電容量式触覚センサ。
IPC (2件)：
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