特許
J-GLOBAL ID:200903094889393351

テーブル装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 沼形 義彰 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-105348
公開番号(公開出願番号):特開2002-295440
出願日: 2001年04月04日
公開日(公表日): 2002年10月09日
要約:
【要約】【課題】 この発明は、ボルトとナットとの間に存在するバックラッシュの影響をなくして、ナットの回転操作量に対応してテーブルと基板との間隔を変更可能にして、テーブルの揺動量を微調整することができるテーブル装置を提供する。【解決手段】 基板である支持テーブル2とテーブル1との間に弾性体としてウレタン製ワッシャ15を挟んでスタッドボルト10とロックナット12とを用いて締め付けることにより、スタッドボルト10とロックナット12とのねじ山に存在するバックラッシュは、ワッシャ15の復元力によって吸収される。テーブル1と支持テーブル2との間隔hは、各締付け式支持機構3におけるロックナット12の回転操作量に応じて、その回動を無効にすることなく正確な量で変更され、テーブル1を水平状態又は所定角度の傾斜状態に微調整することができる。
請求項(抜粋):
基板に対するテーブルの傾斜角度を、ボルトとナットとを備えた複数の締付け式支持機構によって前記基板と前記テーブルとの間の間隔を変更することにより調整可能としたテーブル装置において、前記基板と前記テーブルとの間に間隔調整用の弾性体を介装し、前記締付け式支持機構の締付け程度を前記弾性体を介して変更することにより前記間隔を変更することを特徴とするテーブル装置。
IPC (6件):
F16B 39/24 ,  B23Q 1/72 ,  B25H 1/02 ,  B25H 1/14 ,  F16B 5/02 ,  F16B 35/04
FI (6件):
F16B 39/24 G ,  B25H 1/02 ,  B25H 1/14 ,  F16B 5/02 P ,  F16B 35/04 V ,  B23Q 1/04
Fターム (25件):
3C012BB06 ,  3C012BD01 ,  3C012BD03 ,  3C048BB12 ,  3C048BB20 ,  3C048EE00 ,  3J001FA03 ,  3J001GA01 ,  3J001GB01 ,  3J001HA02 ,  3J001JA08 ,  3J001JC03 ,  3J001JC06 ,  3J001JC13 ,  3J001JE01 ,  3J001KA12 ,  3J001KA15 ,  3J001KB06 ,  3J001KB10 ,  3J034AA01 ,  3J034BA06 ,  3J034BB06 ,  3J034BC02 ,  3J034CA01 ,  3J034DA10
引用特許:
審査官引用 (1件)

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