半導体加速度センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240447
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066320
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】大型にすることなく感度向上を図る。【解決手段】四角形状に形成されて成り中央部に穿設された長方形状の孔を有するチップ本体110、このチップ本体110における上記孔の左方中央部から左右方向の右側に延出されて成る一対のカンチレバー111、およびこれらの各カンチレバー111の先端側に一体に形成されて支持されるマス部112を有する形状に形成された加速度センサチップ11と、この上面上に接合された上ガラスキャップ12と、加速度センサチップ11の下面上に接合された下ガラスキャップ13とにより半導体加速度センサ10を構成し、加速度センサチップ11の上面における左右方向に沿う両端側に形成された金属薄膜を介して上ガラスキャップ12を接合し、加速度センサチップ11の上面における左右方向を開放状態にした。

請求項（抜粋）：

一の方向に延出された弾性のカンチレバーおよびこのカンチレバーの先端側に一体に形成されて支持される重り部を有して成る加速度センサチップと、前記加速度センサチップの一の面上に接合された凹状の第1キャップと、前記加速度センサチップの他の面上に接合された凹状の第2キャップとを備え、前記カンチレバーには、前記重り部が受けた加速度に比例する信号を出力として取り出すセンシングエレメントとしてのゲージ抵抗が形成され、このゲージ抵抗は前記第1キャップと対向する前記加速度センサチップの一の面側に位置し、前記第1および第2キャップにおける前記加速度センサチップと対向する凹状の底面内には、それぞれ加速を受けた際の前記重り部の動きを規制する突起状のストッパが形成され、前記第1キャップは、前記加速度センサチップの一の面における前記一の方向に沿う両端側に形成された金属薄膜を介して接合し、前記一の面における前記一の方向を開放状態にする半導体加速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-163672
周期性パターンの検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-340843 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平3-076064

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