特許

J-GLOBAL ID：200903094909227402

高周波半導体装置の測定治具

発明者： 鈴木 貴美子
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222767
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063043
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 高周波半導体装置の高周波特性を測定する際のノイズ、歪等の影響を低減させるためと、高周波半導体装置の種々のパッケージに対し汎用性を持たせた高周波半導体装置の測定治具を得る。【構成】 測定治具の下部台座12aをX方向にスライド可能にし、さらに高周波信号の入力端子3が高周波信号伝送線路19に合うように下部台座の上で上部台座13aをY方向にスライド可能にする。さらに入力端子3に接続される高周波信号伝送線路19の両側にはいずれも接地線路20を設ける。【効果】 高周波半導体装置の高周波特性を測定する際に従来数台の測定治具が必要であったが、この発明により1台のみで測定でき、数台分の製作費用が削減できる効果がある。また、入力端子以外の入力側の端子を接地することにより入力端子へのノイズ、歪等を低減させることができる。

請求項（抜粋）：

両側に多端子をもちその片側の端子のうち一つの端子のみが高周波信号を伝送し他の端子は開放端子であり、他方の片側には必要な機能を有する端子を備えているパッケージの型になされている高周波半導体装置の測定治具において、前記パッケージは多端子の端子ピッチが同一ならばその形状、大きさが異なっても測定されうるように、測定治具の片側の台座が上下に分割されて相互に異なる方向に移動可能になされており、かつ前記片側の台座の上の部分に設けられている高周波信号伝送線路の両側の部分は接地線路になされて高周波信号を伝送する端子側の入力端子以外の他の端子全てを接地するようにしたことを特徴とする高周波半導体装置の測定治具。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26