特許

J-GLOBAL ID：200903094920177190

プリント配線板の検査装置

発明者： 長崎 正人 ,  恒川 智好 ,  岩松 栄治 ,  小田切 章
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社 ,  タカノ株式会社
代理人 (1件)： 菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-081489
公開番号（公開出願番号）：特開2001-266127
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 基板配線パターン及びスルーホールの検査において、微小な異物等を検知可能とするような高精度であって、かつ検査時間を短時間とするような検査装置を提供する。【解決手段】 第2の光源としてとして斜方からハロゲン光のパターン検出用ライン照明9a、9bを照射し、このライン照明9a,9bによって、被検査基板11表面部におけるCCDカメラ10による画像取り込み位置付近を、ライン状に両側から照射している。さらに、第1の光源となるスルーホール検出用ライン照明17a,17bがそれぞれハーフミラーを介して落斜照明し、それぞれ反対側のCCDカメラに透過光を照射している。CCDカメラ10は被検査基板11からの反射光、又はスルーホールの透過光を受光し、画像を生成することとなる。このように検出された画像を解析することによって被検査基板の良否が判定できる。

請求項（抜粋）：

被検査基板両側において垂直方向に同軸に備えられた撮像装置と、被検査基板両側に設けられてそれぞれ対応するハーフミラーを有し、被検査基板を挟んで反対側に位置する前記撮像装置の方向に落射照明する第1の光源と、を備え、前記撮像装置は、反対側からの前記落斜照明によるスルーホールの透過光を両側において同時に受光し、同一スルーホールの検査を表裏両側から行なう機構を有することを特徴とするプリント配線基板の検査装置。

IPC (5件)：

G06T 1/00 305 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  H05K 3/00

FI (6件)：

G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 B ,  H05K 3/00 S ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 F

Fターム (38件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065MM24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA68 ,  2G051AB01 ,  2G051BA02 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC11 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA19 ,  2G051EB01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057DA03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC22

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭62-138987
  
• 物体形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-197444   出願人：株式会社ミツトヨ

審査官引用 (2件)

• 物体形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-197444   出願人：株式会社ミツトヨ
• 特開昭62-138987