スタンパーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-137334
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349115
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】半径方向に凹凸パターン深さのバラツキが小さな、大口径ディスク成形用スタンパーを提供する。【構成】スタンパーの製造工程の1工程である、ドライエッチング工程のエッチングガスのガス圧を、0.6Pa以下に設定する。

請求項（抜粋）：

ガラス原盤上にポジ型フォトレジストを塗布する工程と、所定の溝または信号パターンを露光する工程と、アルカリ性現像液で現像することにより、露光部分のフォトレジストを溶解除去して、レジスト凹凸パターンを形成する工程と、エッチングガスでドライエッチングする工程、および残留したレジストを除去する工程からなる大口径ディスク成形用スタンパーの製造方法において、前記ドライエッチング工程の条件として、エッチングガスのガス圧を0.6Pa以下に設定することにより、半径方向の凹凸パターン深さのバラツキを低減したことを特徴とする前記大口径ディスク成形用スタンパーの製造方法。

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