特許
J-GLOBAL ID：200903094930790311
固体撮像装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-035303
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247486
出願日： 2003年02月13日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】固体撮像素子とカバーガラスとの隙間を規定するスペーサーと、ウエハとを均一に接着し、接着剤のはみ出しや封止不良の発生を防止する。【解決手段】多数の固体撮像素子3と接続端子4とが形成されたウエハ14上に、多数のスペーサー6が形成され、各スペーサー6の端面に接着剤が塗布されたガラス基板10を重ね合わせ、仮貼り合わせを行なう。その後、ガラス基板10及びウエハ14を加圧装置内にセットし、薄膜フイルム23を介してエアー加圧する。これにより、カバーガラス10やウエハ14が破損することなく均一に加圧され、スペーサー6とウエハ14との接触状態が均一になる。その後、このエアー加圧を接着剤が硬化する所定時間維持することにより、ウエハ14に対する各スペーサー6の取り付け状態が均一となる。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
多数の固体撮像素子が形成されたウエハの上に、固体撮像素子の周囲を取り囲むスペーサーが多数形成された透明基板を接着剤で貼り合わせ、各固体撮像素子に合わせて透明基板とウエハとを分割することにより、ウエハから分割されてなる固体撮像素子チップの上面がスペーサーと透明基板とで封止される固体撮像装置の製造方法において、
前記ウエハと透明基板とを貼り合わせた後に、ウエハまたは透明基板の一方を他方に向けてエアー加圧し、このエアー加圧中に接着剤を硬化させることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (4件)：
H01L23/02
, H01L23/10
, H01L27/14
, H04N5/335
H01L23/02 J
, H01L23/10 B
, H04N5/335
, H01L27/14 D
4M118BA10
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118HA02
, 4M118HA03
, 4M118HA05
, 4M118HA24
, 4M118HA26
, 4M118HA30
, 5C024AX01
, 5C024CY47
, 5C024CY48
, 5C024CY49
, 5C024GY01
