特許
J-GLOBAL ID：200903094931229206
プローバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中澤 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084969
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274054
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】座屈時に、隣接するプローブ針同士が接触することがなく、プローブ針とガイド板の貫通孔との摩擦を少なくし、正確かつ安定した検査を行うことができるとともに、簡単に製造することができるプローバー及びプローバーの製造方法を提供する。【解決手段】被検査物6の電気的特性を検査する検査装置本体に接続されるプリント基板1と、そのプリント基板1に接続され、先端部が被検査物に接触する複数のプローブ針2と、そのプローブ針2が貫通する貫通孔を備え、プローブ針を位置決めするガイド板3、4と、を有し、各プローブ針2の所定位置に曲げ部2aが形成され、ガイド板3、4の貫通孔の内壁は、傾斜状に形成されている。
請求項（抜粋）：
一方の端部が被検査物の電気的特性を検査する検査装置側に接続され、他方の端部が前記被検査物に接続され、所定位置に曲げ部が形成されたプローブ針と、そのプローブ針が貫通し傾斜状に形成された貫通孔を備え、プローブ針を位置決めするガイド板と、を有することを特徴とするプローバー。
IPC (4件)：
G01R 1/073
, G01R 1/067
, G01R 31/02
, H01L 21/66
G01R 1/073 D
, G01R 1/067 C
, G01R 31/02
, H01L 21/66 B
