特許

J-GLOBAL ID：200903094937636792

飛行時間型質量分析計のイオン光学系

発明者： 松 田 久
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275940
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086129
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 円筒電場の軸方向の収束性を持ち、入射角の調整が容易で、イオンを所定回数だけ確実に周回させることができる飛行時間型質量分析計のイオン光学系を提供する。【解決手段】 回転角度60°の同一形、同一強度の円筒電場E1〜E6は、同心円筒電極である内側電極1〜6と外側電極1’〜6’の間の空間に生成される。電場E1とE6の間には、イオン源で生成された試料イオンをイオン軌道に向けて入射させるための偏向電場E0が配置されている。電場E1とE6の間には、イオン軌道を飛行してきた試料イオンを外部へ取り出すための偏向電場E7が配置されている。電場E3とE4の間には、イオン軌道を円筒電場の軸方向に平行にずらすための偏向電場Ei,Ei’が配置されている。イオンは、軸心Oに直交する平面に対して平行に円筒電場E1へ入射される。イオン軌道は、偏向電場Ei,Ei’によって周回ごとに下方に移動して行く。

請求項（抜粋）：

イオンが順次通過する複数の円筒電場を備え、その複数の円筒電場は最後の円筒電場を出射したイオンが最初に入射した円筒電場に再び入射するように配置されている飛行時間型質量分析計のイオン光学系において、前記円筒電場間に、イオン軌道を円筒電場の軸方向にずらせる偏向電場を備えたことを特徴とする飛行時間型質量分析計のイオン光学系。

IPC (3件)：

H01J 49/40 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/22

FI (4件)：

H01J 49/40 ,  G01N 27/62 E ,  G01N 27/62 K ,  H01J 49/22