特許
J-GLOBAL ID：200903094941244505

天井走行搬送装置

発明者：
村田 正直

村田 正直 について


出願人/特許権者：
神鋼電機株式会社

神鋼電機株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261284
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】 搬送物を半導体製造装置のロードポートへ吊り下げる際に、搬送物が人や不用意に置かれた物などの障害物と接触する前にこれを検知して避ける対策を、安価かつ確実に講じることができる天井走行搬送装置の提供を課題とする。【解決手段】 ホイスト付台車3が、当台車3と各製造装置7のロードポート8間との昇降経路を光探索し障害物21の有無を検知する各障害物検知センサ22を備え、これら障害物検知センサ22は、前記昇降経路の周囲を複数面で監視する構成を採用した。
請求項（抜粋）：
天井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイスト付台車とを備えた天井走行搬送装置において、前記ホイスト付台車は、当台車と各製造装置のロードポート間との昇降経路を光探索し障害物の有無を検知する障害物検知センサを備え、前記障害物検知センサは、前記昇降経路の周囲を複数面で監視することを特徴とする天井走行搬送装置。
IPC (5件)：
B66C 15/00 ,  B65G 1/00 511 ,  B65G 1/04 551 ,  B66C 11/06 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
B66C 15/00 E ,  B65G 1/00 511 F ,  B65G 1/04 551 Z ,  B66C 11/06 ,  H01L 21/68 A
Fターム (25件)：
3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022LL12 ,  3F022NN57 ,  3F022QQ11 ,  3F203AA10 ,  3F203BA10 ,  3F203CA02 ,  3F203CC01 ,  3F203DA08 ,  3F204CA05 ,  3F204DA07 ,  3F204FC02 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031GA58 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA17 ,  5F031JA31 ,  5F031NA02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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