特許
J-GLOBAL ID：200903094948085070
異物汚染防止搬送ベルト
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131231
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318819
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：
【要約】【課題】 搬送物裏面の汚染を防止できるとともに、既存の製造工程に適用できる搬送ベルトを提供する。【解決手段】 ベルト3のプーリ2に対向する面はプーリ2の円弧状溝部に納まり得る円弧状断面形状として現状の製造工程に適用できるようにし、ベルト3の搬送物4と対向する面はベルト3の長手方向に沿って複数の突起を配設して搬送物4が直接ベルト3に面接触しないようにして異物による汚染を防止する。ベルト3にはプーリ2外周部分と接触する張り出し部分を設けてネジレを防止することができる。又ベルト材料には耐久性に優れたウレタンを使用し、長手方向に溝8や中空部9を設けてその屈曲性を改善することができる。前記突起の先端は欠落しにくい形状とし、別物を取り付けるようにしてもよい。本発明にかかるベルト3は、ウエハ搬送装置ほかへの使用に適する。
請求項（抜粋）：
所定の間隔を置いて平行に配置された2つの軸と、その各軸に装着された外周部に円弧状の溝部を有する複数のプーリと、そのプーリ溝部に架けられて両軸の対応する位置にあるプーリ間をまたがって張られた複数のベルトとから構成され、いずれかの軸のプーリを駆動することにより、上記複数のベルト上に載置された搬送物を搬送する装置に使用されるベルトにおいて、そのベルトのプーリに対向する側は、上記プーリの円弧状溝部に納まり得る円弧状断面形状であるとともに、ベルトの搬送物と対向する側には、ベルトの長手方向に沿って複数の突起を配設してあることを特徴とするベルト。
IPC (3件)：
B65G 15/42
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B65G 15/42
, B65G 49/07 A
, H01L 21/68 A
3F024AA11
, 3F024AA13
, 3F024CA06
, 3F024DA04
, 5F031FA01
, 5F031GA51
, 5F031HA08
