特許
J-GLOBAL ID：200903094949525457
光測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331726
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170522
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】光検出器の受信信号からノイズとなる散乱源からの散乱光による干渉的なバックグラウンドノイズを除去することのできる光測定装置、より詳細には散乱モードSNOM装置を提供すること。【解決手段】本発明の光測定装置は、周波数ω1 で振幅変調する第1の光とその光にコヒーレントでかつその振幅が時間的に変動のない第2の光との混合光にそれらの光とコヒーレントな第3の光を合波干渉させるための光学系と、その合波干渉光の出力光強度を検出する光検出器と、第1の光と第3の光との相対的位相差を変化させるための位相差変化手段と、第1の光と第3の光との異なる相対的位相差に対応した前記光検出器の出力値の前記周波数ω1 の振動成分に基づいて、第1の光の振幅を求める演算手段とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
周波数ω1 で振幅変調する第1の光と前記第1の光にコヒーレントで、かつ、その振幅が時間的に変動のない第2の光との混合光から、前記第1の光の振幅を測定する光測定装置において、前記混合光に前記第1、第2の光とコヒーレントな第3の光を合波干渉させるための光学系と、前記合波干渉光の出力光強度を検出する光検出器と、前記第1の光と第3の光との相対的位相差を変化させるための位相差変化手段と、前記第1の光と第3の光との異なる相対的位相差に対応した前記光検出器の複数の出力値の前記周波数ω1 の振動成分に基づいて、前記第1の光の振幅を求める演算手段と、を備えたことを特徴とする光測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
