特許
J-GLOBAL ID：200903094954557626
ECRプラズマ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082225
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277298
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 小型化・軽量化を図る。【解決手段】 ECRの空洞共振室であるキャビティ42に対して円筒型導電体でキャビティ42と同電位の筐体51を、真空チャンバ41側に取り付けて、キャビティ42の共振作用を補完させることによって、キャビティ42の寸法を小さくし、その周囲に配置される電磁コイル44をサイズの小さいもので済ますことができるようにし、小型化・軽量化可能とする。
請求項（抜粋）：
真空チャンバと、該真空チャンバの側面に設けられ、導波路を介してマイクロ波が導入されるキャビティと、該キャビティの周囲に設けられた電磁コイルと、該キャビティの真空チャンバ側に設けられた、該キャビティと同電位の導電体の筐体とを備えることを特徴とするECRプラズマ装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23C 14/22
, C23C 14/32
H05H 1/46 C
, C23C 14/22 Z
, C23C 14/32 B
