特許
J-GLOBAL ID:200903094962390510

物体の断面形状測定方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江原 望 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-102006
公開番号(公開出願番号):特開平6-288727
出願日: 1993年04月05日
公開日(公表日): 1994年10月18日
要約:
【要約】【目的】 物体の断面形状を高い精度で測定することができる測定方法および装置を供する。【構成】 投光器および受光器からなる測定機と被測定物体とが測定断面幅方向に相対的に移動しながら投光器より被測定物体に照射された光の反射光を受光器が受光して該光情報を分析して物体の断面形状を測定する方法において、第1の測定機により被測定物体の粗い精度の断面形状データを得る第1段階の測定をし、第2の測定機を前記断面形状データに基づき被測定物体との距離が常に適正な範囲内にあるように測定断面厚み方向に移動しながら被測定物体の断面形状データを得る第2段階の測定をし、前記第2の測定機の測定断面厚み方向の移動量とその断面形状データから被測定物体の断面形状を算出することを特徴とする物体の断面形状測定方法。
請求項(抜粋):
投光器および受光器からなる測定機と被測定物体とが測定断面幅方向に相対的に移動しながら投光器より被測定物体に照射された光の反射光を受光器が受光して該光情報を分析して物体の断面形状を測定する方法において、第1の測定機により被測定物体の粗い精度の断面形状データを得る第1段階の測定をし、第2の測定機を前記断面形状データに基づき被測定物体との距離が常に適正な範囲内にあるように測定断面厚み方向に移動しながら被測定物体の断面形状データを得る第2段階の測定をし、前記第2の測定機の測定断面厚み方向の移動量とその断面形状データから被測定物体の断面形状を算出することを特徴とする物体の断面形状測定方法。

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