特許
J-GLOBAL ID：200903094970637885
分光分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054118
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247936
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 検出器に入射される反射光および透過光の光量差を補償しながら干渉縞を除去した分光分析を行える分光分析装置を提供すること。【構成】 試料からの透過光および反射光を検出する検出器11と、透過光および反射光を検出器に同時に導く所定の光路を形成する光学系4、5、6、7、9と、透過光および反射光の検出器への入力の周期および透過光ないし反射光に対する光量を設定し、透過光および反射光を交互に検出器に導く回転チョッパー10および光量を減少させる櫛型減光器8と、検出器で得られる反射光および透過光の電気信号を時間平均化するローパスフィルタ12と、このローパスフィルタで得られた信号からスペクトルを求めるように処理するコンピュータ13とを備え、回転チョッパー10および櫛型の減光器8の位置を調整し、反射光および透過光の光量のバランスを調整する。
請求項（抜粋）：
所定の入射角で光子ビームを入射された試料からの透過光および反射光を入力して電気信号を出力する検出器と、入射された光子ビームに対する透過光および反射光を検出器に同時に導くように前記試料と検出器との間で所定の光路を形成する光学系と、透過光および反射光の検出器への入力の周期を設定するとともに、検出器に入力される透過光ないし反射光に対する光量の減少率を設定する設定手段と、前記光路に設けられ、前記設定手段で設定された周期で透過光および反射光を交互に検出器に導くとともに、前記設定手段で設定された減少率で試料から検出器へ向かう透過光ないし反射光の光量を減少させる光調整手段と、前記検出器で得られる反射光および透過光の電気信号を、前記周期に対して時間平均化するローパスフィルタと、このローパスフィルタで得られた信号を前記試料の吸収スペクトルを求めるように処理する演算手段と、この演算手段で得られる値に応じて、前記設定手段で設定される周期および減少率を変化させる変化手段と、を具備することを特徴とする分光分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/27 Z
, G01N 21/59 Z
