低電圧駆動アクティブ・マトリックス液晶ディスプレイにおける電気的に分離されたピクセル・エレメント

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095229
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043860
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】低電圧駆動で電気的分離に優れたピクセル・エレメントを提供する。【構成】ゲート・メタル44とパッド・メタル56aは基板52の上に堆積し、パターンを形成される。底部窒化物56、アクティブ・アモルファス・シリコン層58および上部窒化物60が堆積して、上部窒化物層60にはパターンが形成される。続いてN+シリコン62が堆積し、最後にTiW 合金層64、アルミニウム層66およびもう一つのTiW 層68がピクセル構造50の上部金属層を形成する。続いて、金属層とN+層がマスクされ、エッチングされる。最終のITOピクセル層38がTFTの上部メタル層68およびパッド・メタル56aと電気的に接続するように、パシベーション層70が堆積し、パターンを形成される。パシベーション層70の上にピクセル・エレメント38が堆積しているので、パシベーション層70による無駄な電圧降下を削減できる。

請求項（抜粋）：

アクティブ・マトリックス液晶ディスプレイのためのピクセル構造であって、基板、複数の半導体、メタルおよび前記基板上に堆積した絶縁層を含む薄膜トランジスタ、ならびに前記基板上に堆積した前記層の最後のものに続くように、前記基板上に堆積されたピクセル・エレメント、を備えたピクセル構造。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭63-104026
特開昭64-086113
特開昭64-076036

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