特許

J-GLOBAL ID：200903094989459074

光操縦用アナログビームをもつ光スイッチ

発明者： ツェン ワン リン ,  フィリップ エイ コングドン ,  グレゴリー エイ マーゲル ,  ジェームズ エム フローレンス ,  ロバート エム ボイゼル
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258376
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127439
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、アナログモードでの使用に適した可撓性画素の凹部を備えた光スイッチとして使用するのに適した空間光変調器を提供することにある。【解決手段】 (a)基板上の少なくとも1つのアドレス電極と、(b)第1通常位置から複数の第2位置に撓むことができる、前記アドレス電極上に配置された六角形の光反射性画素とを有し、該画素への入射光は、該画素から、画素の位置に基づいて選択された方向に反射されることにより選択的に変調され、画素の位置は、前記下に横たわるアドレス電極に印加される電気信号の選択された特性に基づいて定められ、(c)画素と第1静止支柱との間に連結され且つトーション軸線を形成する第1トーション部材を有し、画素の撓みは、第1部材のトーション軸線の回りでの画素の回転を引き起こし、(d)画素と第2静止支柱との間に連結された第2撓み部材を更に有し、画素の撓みは第2部材の撓みを引き起こすことを特徴とする空間光変調器。

請求項（抜粋）：

(a)基板上の少なくとも1つのアドレス電極と、(b)第1通常位置から複数の第2位置に撓むことができる、前記アドレス電極上に配置された六角形の光反射性画素とを有し、該画素への入射光は、該画素から、画素の位置に基づいて選択された方向に反射されることにより選択的に変調され、画素の位置は、前記下に横たわるアドレス電極に印加される電気信号の選択された特性に基づいて定められ、(c)画素と第1静止支柱との間に連結され且つトーション軸線を形成する第1トーション部材を有し、画素の撓みは、第1部材のトーション軸線の回りでの画素の回転を引き起こし、(d)画素と第2静止支柱との間に連結された第2撓み部材を更に有し、画素の撓みは第2部材の撓みを引き起こすことを特徴とする空間光変調器。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  G02B 7/198 ,  G02B 7/192

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  G02B 7/18 B ,  G02B 7/18 703