特許
J-GLOBAL ID：200903094992220821
シャドウマスクの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181492
公開番号（公開出願番号）：特開平9-035632
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】エッチング防止層を用いたシャドウマスクの製造方法において、エッチング防止層中への気泡の発生、および、エッチング防止層用樹脂の塗布ムラを防止するシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】エッチング防止層を用いたシャドウマスクの製造方法において、エッチング防止層用樹脂の塗布手段として表面温度を調節したコーティングロールを用い、前記コーティングロールの表面を介して金属素材に塗布される樹脂の温度を所望される温度としたことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
請求項（抜粋）：
両面に所定パターンに従って一部金属面を露出させているレジスト膜が形成されている板状の金属素材の少なくとも一方の面をエッチングして、少なくともこの一方の面の金属露出部分に凹部を形成した後、水洗洗浄、乾燥を行なう第一エッチング工程と、前記第一エッチング工程にて形成された凹部を有する一方の面に樹脂を塗布してこの凹部内部に樹脂を充填、硬化しエッチング防止層を形成する工程と、前記エッチング防止層の設けられた面とは反対の面をエッチングして、この反対の面から前記一方の面に形成された凹部に通じる凹孔を形成する第二エッチング工程と、前記エッチング防止層とレジスト膜を除去する剥膜工程とを少なくとも有するシャドウマスクの製造方法において、前記エッチング防止層用樹脂の塗布手段としてコーティングロールを用い、前記コーティングロールの表面温度を調節する手段を設けることにより、前記コーティングロールの表面を介して金属素材に塗布される樹脂の温度を所望される温度としたことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/14 G
, C23F 4/00 C
