特許
J-GLOBAL ID：200903094994537482

有機発光素子、その製造装置およびその製造方法

発明者：
佐野 純一

佐野 純一 について

, 
辻岡 強

辻岡 強 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274326
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093667
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 膜厚均一性を確保しつつ高い成膜速度で成膜位置のずれおよび成膜面積のばらつきを生じることなく基板上に蒸着層を形成することができ、小型化および低コスト化が可能な有機発光素子の製造装置および製造方法を提供することである。【解決手段】 チャンバ11内に遮蔽板12が上部空間と下部空間とを仕切るように設けられている。遮蔽板12には長方形の蒸着窓13が形成されている。遮蔽板12の下方には、蒸着窓13に対向するように蒸着源16が配設されている。遮蔽板12上には基板1を蒸着窓13に対して移動させる移動機構17が設けられている。基板1の下面には必要に応じてメタルマスク20が基板1に近接するように取り付けられる。
請求項（抜粋）：
基板上に第1の電極、有機材料層および第2の電極が積層された有機発光素子の少なくとも前記有機材料層を蒸着法により形成するための製造装置であって、開口部を有する遮蔽部材の一面側において前記開口部に対向する位置に蒸着源が配置され、前記遮蔽部材の他面側において前記基板を前記開口部に対して相対的に第1の方向に移動させる移動機構が設けられたことを特徴とする有機発光素子の製造装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (3件)：
H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB00 ,  3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  3K007FA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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