特許

J-GLOBAL ID：200903095007426158

XYステージ

発明者： 渡辺 和英
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364614
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186156
出願日： 1997年12月18日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 微細な位置決め動作を安定に且つ高速に行うことができるXYステージを提供する。【解決手段】 搭載物を載置する上板11aと、下板11bと、上板11a及び下板11bの四隅を結合した支柱とからなるステージ11と、ステージ11の下板11bに対面する磁極面を有して、ステージ11を浮上支持する浮上用電磁石14と、上板11aの下面に設けられたリニアモータの可動子15bに対面してステージ11をXY方向に非接触で位置決めするリニアモータ固定子15aとを備えた。

請求項（抜粋）：

搭載物を載置する上板と、下板と、該上板及び下板の四隅を結合した支柱とからなるステージと、前記ステージの下板に対面する磁極面を有して、前記ステージを浮上支持する浮上用電磁石と、前記上板の下面に設けられたリニアモータの可動子に対面して前記ステージをXY方向に非接触で位置決めするリニアモータ固定子とを備えたことを特徴とするXYステージ。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 503 A ,  G05D 3/00 G ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 G