特許

J-GLOBAL ID：200903095007464890

回転式シリコン・スクリーン

発明者： リチャード・カール・ダムラー ,  エルドン・エメリー・ルーリグ ,  マシュー・ジェイムス・ステイブリー
出願人/特許権者： ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
代理人 (1件)： ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-091827
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236865
出願日： 1991年04月23日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 半導体品位のシリコン片を必要な大きさの範囲に分別させ、同時に分別されたシリコン片の接触汚染を最少にさせる装置の提供。【構成】 該装置は半導体品位シリコンの接触表面を備えた回転自在の円筒形スクリーンを使用する。好適な実施態様における円筒形スクリーンは半導体品位シリコンの内部スペーサによって分離された半導体品位シリコンの平行ロッドからなる。さらに、半導体品位シリコンの外部スペーサを平行ロッドに沿って配置して、円筒形スクリーンの排除特性を規定する。

請求項（抜粋）：

半導体品位シリコンの接触表面を備え、円筒形スクリーンを回転させる手段と回転接触する円筒形スクリーンからなることを特徴とする半導体品位のシリコン片を大きさによって分ける装置。